江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東吳南路25號(hào)城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號(hào)廠房）

  • 電話：0512-67296032

  • 傳真：0512-67296032

  • 企業(yè)郵箱：sales@js-xm.com.cn

合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

  • 供應(yīng)鏈合作：sunshine@js-xm.com.cn

道德規(guī)范舉報(bào)熱線

  • 若舉報(bào)任何可能涉及違反芯夢(mèng)半導(dǎo)體章程和政策的行為，請(qǐng)聯(lián)系：

  • SUNSHINE@JS-XM.COM.CN

  • 或致電：0512-67296032

單片濕法制程設(shè)備

三維封裝TSV微盲孔電鍍填充設(shè)備

團(tuán)隊(duì)有半導(dǎo)體制造、材料十多年行業(yè)服務(wù)經(jīng)驗(yàn)

核心技術(shù)來(lái)源:在02專項(xiàng)/973項(xiàng)目支持下，獲得了關(guān)鍵技術(shù)的突破

三維封裝TSV微盲孔電鍍填充設(shè)備

自創(chuàng)復(fù)合添加劑技術(shù)

復(fù)合添加劑equilibrium LUMO

image35-600x343.png

添加劑的電化學(xué)測(cè)試

image36.png

復(fù)合添加劑實(shí)現(xiàn)TSV完全自底向上填充 （ 20*120μm ）

image34-600x638.png

基于理論精準(zhǔn)建模

大深寬比TSV鍍銅填充模型

image32-768x457.png

物理場(chǎng)增強(qiáng)技術(shù)

超聲及脈沖增強(qiáng)機(jī)制

image37-600x367.png

超聲對(duì)200×20 μm TSV鍍銅填充的影響

image38-600x380.png

無(wú)超聲與有超聲

12-11.jpg

模擬仿真和設(shè)計(jì)

關(guān)鍵模塊之一 電鍍液分布與電流分布

image41 (1).pngimage42 (1).jpegimage43 (1).png